產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
測(cè)控組件主要由閥體組件、真空測(cè)量傳感器兩部分組成。
閥體組件(型號(hào)：GGCKZJ-III）
閥體組件是由?28直通管道焊接口、CF25法蘭盤(pán)、KF16法蘭盤(pán)、兩個(gè)超高真空手動(dòng)閥以及閥體通道組成。
J1是閥體組件與抽真空機(jī)組的KF16連接口，當(dāng)不對(duì)傳感器抽真空(或者不連接抽真空機(jī)組）時(shí)此口用真空盲板連接。
J2是閥體組件與真空測(cè)量傳感器的CF16連接口，當(dāng)需要更換真空測(cè)量傳感器時(shí)可通過(guò)此口簡(jiǎn)單快速的更換。
J3是閥體組件與設(shè)備連接的?28連接口，當(dāng)需要更換測(cè)控組件(或者檢修設(shè)備）時(shí)可通過(guò)此口簡(jiǎn)單快速的操作。
K1手動(dòng)閥是控制J/2連接口與J3連接口的通斷，K2是控制K1手動(dòng)閥腔體與J1連接口的通斷。
閥芯采用全金屬波紋管閥芯，閥體材質(zhì)為不銹鋼材質(zhì)，焊接工藝為氬弧焊，能耐200℃的高溫，其真空漏率為Q≤1×10-11Pa·m3·s-1。
其外形結(jié)構(gòu)及3D立體圖如圖1、圖2所示：(單位：mm)
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